汽化過氧化氫滅菌器是在低溫，真空的狀態下，在滅菌室中通過高頻電場的作用產生等離子體，其中活性物質和微生物體內的蛋白質和核酸發生化學反應，摧毀微生物和擾亂微生物的生存功能，再以過氧化氫為媒質，作用于微生物細胞，進一步的對微生物進行滅殺。下面我們來看一下汽化過氧化氫滅菌器的大概操作流程：
1、打開機器正面電源開關，點進去輸入設定的密碼，設備就會進入待機的狀態；
2、按開門鍵放入包裝好的器械；
3、按關門鍵關好設備門選擇滅菌程序；
4、根據說明書上的要求，選擇對應的滅菌程序，設備就會進入自動工作的狀態；
5、等滅菌程序結束之后，顯示屏返回到主界面，并且會發出提示音，然后把滅菌物品取出來，最后將設備門關上；
6、登錄滅菌記錄。
以上就是在使用汽化過氧化氫滅菌器大概的操作流程，按照正確的流程進行操作，也是為了防止“誤傷”設備。它的整個滅菌過程共分為四個階段：
1、準備階段：蒸汽發生裝置的溫度升高到穩定的條件；
2、噴氣階段：過氧化氫蒸汽快速進入滅菌空間 （通過閃蒸）；
3、維持階段：飽和濃度過氧化氫蒸汽保持在滅菌空間中；
4、通風階段：過氧化氫蒸汽在催化劑上分解為水蒸汽與氧氣。
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